喷嘴在多晶硅领域的用途

1、氯化氢合成程序:燃烧枪、HCl吸收塔、含Cl废气处理系统
2、三氯氢硅合成工序:湿法除尘系统
3、合成气分离程序:HCL吸收塔、HCL解析塔、喷淋洗涤塔
4、氯硅烷分离程序:精馏塔
5、三氯氢硅还原程序:三氯氢硅汽化器
6、还原尾气干法分离程序:HCL吸收塔、HCL解析塔、喷淋洗涤塔
7、四氯氢硅氢化程序:四氯氢硅汽化器
8、氢化尾气干法分离程序:HCL吸收塔、HCL解析塔、喷淋洗涤塔
9、废气,废液处理:废气洗涤塔、废液洗涤塔、压滤机

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